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流化床反应器(FB-CVD)属于公司的明星产品之一,粉体材料在反应器内形成流化态,进行包覆、烧结等工艺。以流化床为反应器的CVD工艺具有包覆均匀等特点。适用于D50=2~1000μm的粉体材料流化。
流化床反应器(FB-CVD)属于公司的明星产品之一,粉体材料在反应器内形成流化态,进行包覆、烧结等工艺。以流化床为反应器的CVD工艺具有包覆均匀等特点。适用于D50=2~1000μm的粉体材料流化。
有效反应容积 | 1L~1000L,更高容积可定制 |
气源 | H2、N2、Ar、O2、CO2、CH4、C2H2、硅烷、水蒸气、C3H6等 |
操作温度 | ≤950℃,更高温度可定制 |
材料处理要求 | D50≥2μm |
型号 | 款式 | 量级 |
---|---|---|
FBCVD-10 | 1 KG | 实验级 |
FBCVD-20 | 3 KG | 实验级 |
FBCVD-100 | 20 KG | 中试级 |
FBCVD-500 | 100 KG | 商业级 |
FBCVD-1000 | 200 KG | 商业级 |