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成熟商业化设备

流化床气相沉积反应器
FB-CVD
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流化床气相沉积反应器 FB-CVD

流化床反应器(FB-CVD)属于公司的明星产品之一,粉体材料在反应器内形成流化态,进行包覆、烧结等工艺。以流化床为反应器的CVD工艺具有包覆均匀等特点。适用于D50=2~1000μm的粉体材料流化。

FBCVD-20
FBCVD-100
FBCVD-500

技术优势

流化床反应器的传热和传质系数高

比传统的固定床反应器和移动床反应器高1个数量级以上。

流化床反应器的单位产能大

能效和接触充分,单位床层的生产能力远远大于传统的固定床反应器和移动床反应器。

流化床反应器反应区温度均匀

对于强热效反应热扩散和热补充都有着明显的优势。

设备采用自动化控制

更加接近于商业化设备,并明显提高性能稳定性。

流化床的控温精度一致性

相比于固定床反应器,流化床反应器在控温反应的温度精度一致性上有着不可替代的优势。

反应区质点均处于流动态

易于物料的加注和卸出,对于能耗和生产效率都有明显的提升。

设备采用一体化设计

满足防爆需求。

技术参数

有效反应容积 1L~1000L,更高容积可定制
气源 H2、N2、Ar、O2、CO2、CH4、C2H2、硅烷、水蒸气、C3H6
操作温度 ≤950℃,更高温度可定制
材料处理要求 D50≥2μm

产品规格

型号 款式 量级
FBCVD-10 1 KG 实验级
FBCVD-20 3 KG 实验级
FBCVD-100 20 KG 中试级
FBCVD-500 100 KG 商业级
FBCVD-1000 200 KG 商业级